电阻加热法 是通过电阻加热实现气扣粉体制各的方法，典型工艺如蒸发—冷凝及化学气和沉积工艺。前各可制各多种金属纳米粉体；后各可制各氧化物粉体，也可制各氮化物和碳化物等非氧化物粉体。
电子束加热法 向样有蒸发—冷凝和cvD两种工艺，只是以电子束加热。该法是从制腥工艺发展而来，为避免形成胺状材料，采用流动油面沉积。
化学火焰法 是通过一般化学燃烧来合成粉体的方法，具体工艺分为两种:一是直接将气态反应剂加入到氧化气氛中燃烧，适用于各种放热反应;二是在已有化学火焰中加入金属粉或雾状金属盐溶液，佼其被加热蒸发、分解、还原及化合。
等离子法 利用等离子高温射流加热反应剂使其发生合成反应，是一种重要的气相合成粉体工艺。等离子体作为热源有明显的优点:温度很高，中心接近10000℃；高度电离状态的等离子体可增强化学反应；等离子体较一般燃烧火焰更为清洁；等离子体能员集中、边界明显，容易造戊骤冷条件，这对纳米粉的制各很有意义。等离子法可制各氧化物，碳、氮等非氧化物及金属等单质和复合粉体。
激光法 又被称为激光诱导化学气和沉积(LIcvD或LcvD)法，是通过反应气体分子对特定波长激光能员的吸收而诱导发生合成反应制粉。此外，也有基于蒸发—冷凝原理的激光剥蚀法，所用原料——靶材即为所制各粉体的本体材料。